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■可進(jìn)行孔內(nèi)膠渣去除、表面清潔、粗化、活化等
應(yīng)用領(lǐng)域
★ PI表面粗化及清潔;
★ PI表面粗化及清潔;
★ PCB孔內(nèi)除膠、表面清潔;
★ FPC孔內(nèi)除膠、表面清潔;
★ 電子材料表面粗化、清潔;
★ COVERLY表面粗化、清潔。
產(chǎn)品特點(diǎn)
★ 工藝簡單,處理過程自動(dòng)控制
★ 產(chǎn)品處理時(shí)間短,效率高
★ 多種制程氣體使用
★ 設(shè)備操作簡單方便,穩(wěn)定性高,易于維護(hù)
★ 可根據(jù)客戶需求定制專用規(guī)格機(jī)臺(tái)
產(chǎn)品規(guī)格
機(jī)臺(tái)尺寸 | 1865(W)*1810(D)*2105(H)mm |
真空腔體尺寸 | 675(W)*1455(D)*960(H)mm |
電極有效尺寸 | 22"*50" |
電極分布 | 13層/Thirteen layers |
輸出功率 | 10KW |
輸出頻率 | 40KHz |
電力 | 380VAC/100A/3PH/50Hz |
可加載氣體 | 四種(O2,N2,CF4,H2) |
冰水機(jī) | |
真空泵浦 | |