■ 可進(jìn)行孔內(nèi)膠渣去除、表面清潔、粗化、活化等
應(yīng)用領(lǐng)域
★ PI表面粗化及清潔
★ PCB孔內(nèi)除膠、表面清潔
★ FPC孔內(nèi)除膠、表面清潔
★ 電子材料表面粗化、清潔
★ COVERLY表面粗化、清潔
產(chǎn)品特點(diǎn)
★ 特殊氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
★ 合理的等離子反應(yīng)空間,處理之均勻性佳
★ 多種制程氣體的使用
★ 全自動(dòng)簡(jiǎn)單易操作設(shè)備穩(wěn)定性高,易維護(hù)
★可根據(jù)客戶需求定制專用規(guī)格機(jī)臺(tái)
產(chǎn)品規(guī)格
設(shè)備尺寸/Machine Size | 2510(W)*1665(D)*2090(H)mm |
真空腔體尺寸 | 1340(W)*1570(D)*1240(H)mm |
電極有效尺寸 | 25"*44" |
輸 出 功 率 | 10KW |
輸出頻率 | 40KHz |
電 力 | 380VAC/100A/3PH/50Hz |
可加載氣體 | 四種 (O2,N2,CF4,H2) |
溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng) | |
冰水機(jī)/Chiller | |
真空泵浦 | |
臺(tái)車 |